| 发明名称 | 图像检查方法以及使用了该方法的图像检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够高精度地自动进行与受检物的伤痕、异物混入、裂纹等不良状况的检查的图像检查方法以及使用了该方法的检查装置，该图像检查方法包括：第1步骤，拍摄上述透射图像；第2步骤，对上述透射图像适用二次微分滤波器，将其变换成二次微分滤波器图像；第3步骤，按照预定的阈值把上述二次微分滤波器图像二值化，变换成第1二值化图像；第4步骤，按照其它的预定阈值把上述透射图像二值化，变换成第2二值化图像；第5步骤，对于上述第1二值化图像以及上述第2二值化图像进行二值特征量计测，计算二值特征量；以及第6步骤，从上述二值特征量进行上述受检物是否良好的判定。 | ||
| 申请公布号 | CN101074932A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200710103294.0 | 申请日期 | 2007.05.15 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 西野裕久;宇野真彦 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01N21/95(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 吴丽丽 |
| 主权项 | 1.一种图像检查方法，用透射照明单元照明受检物，用摄像单元拍摄透过上述受检物的照明光以作为透射图像，进行上述受检物的检查，所述图像检查方法的特征在于包括：第1步骤，拍摄上述透射图像；第2步骤，对上述透射图像适用二次微分滤波器，将其变换成二次微分滤波器图像；第3步骤，按照预定的阈值把上述二次微分滤波器图像二值化，变换成第1二值化图像；第4步骤，按照其它的预定阈值把上述透射图像二值化，变换成第2二值化图像；第5步骤，对于上述第1二值化图像以及上述第2二值化图像进行二值特征量计测，计算二值特征量；以及第6步骤，从上述二值特征量进行上述受检物是否良好的判定。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||