盘尼西林酵素生物感测器及其制造方法、包含此生物感测器之感测系统

摘要

本发明提供一种盘尼西林酵素生物感测器，包括一金氧半场效电晶体，一感测元件，以及一导线，连接该金氧半场效电晶体与该感测元件，其中该感测元件包括一基底、一二氧化钌膜以及一盘尼西林酵素感测膜，该二氧化钌膜形成于该基底上，该盘尼西林酵素感测膜形成于该二氧化钌膜上。本发明另提供一种盘尼西林酵素生物感测器之制造方法，以及包含该生物感测器之感测系统。