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发明名称 BEDAMPFERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT376078(T) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 AT20050016365T 申请日期 2005.07.28
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 BENDER, MARCUS;HOFFMANN, UWE;KLEMM, GUENTER;HAAS, DIETER;ENGLERT, ULRICH
分类号 C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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