微影装置、控制系统以及器件制造方法

摘要

本发明系揭示一种浸入式微影装置，其具有一测量系统或一预测系统以分别测量及/或预测一与该液体之一温度波动相关的效应，且具有一控制系统，该控制系统系基于分别藉由该测量系统及/或预测系统所获得之该测量及/或预测来控制与该沉浸液体之温度相关之该或另一效应。本发明亦揭示相关的控制系统及器件制造方法。