| 摘要 |
本发明提供一种用来照射样本(28)之带电粒子束装置，该装置包含一用以提供带电粒子束(31)的粒子来源(13；14, 16)、一用以引导该带电粒子束至该样本上的光学装置(18, 20, 22, 24, 26, 27)以及一用以减少该样本之电荷累积及/或污染的臭氧单元。该臭氧单元包含一臭氧供应器(34, 35, 36)及一样本喷嘴单元(38)，用以引导一臭氧气流至该样本(28)。此外，本发明提供一种用来照射样本之带电粒子束装置，该装置包含一用以提供带电粒子束(31)的粒子来源(13；14, 16)、一用以引导该带电粒子束至该样本上的光学装置(18, 20, 22, 24, 26, 27)、一侦测器(30)以及一用以减少该侦测器之电荷累积及/或污染的气体单元。该气体单元包含一气体供应器(34,35, 37)及一侦测器喷嘴单元(40)，用以引导一气流至该侦测器。此外，本发明提供用来操作根据本发明之带电粒子束装置的方法。 |
