| 主权项 |
1.一种动态地量测一待测物厚度的装置,包括: 一具有第一涡电流感测头及第二涡电流感测头之 涡电流感测器,该第一涡电流感测头及该第二涡电 流感测头系分别予以定位,使两者之间具备一事先 预定间隔距离之缝隙,以便至少让该待测物的一部 分从该缝隙穿过,当该待测物从该缝隙穿过时,该 第一涡电流感测头及该第二涡电流感测头对该待 测物上的一个或复数个取样处进行量测; 一机构,系于量测时移动该待测物穿过该缝隙; 一位置感测机构,系确定该待测物上之一个或复数 个取样处之位置;以及 一评估电路,系与该涡电流感测器及该位置感测机 构相连通,且该评估电路确定该待测物于该一个或 复数个取样处的厚度。 2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该机构系 包含一机械式末端效应器。 3.如申请专利范围第1项所述之装置,更包含一位移 感测器,系侦测该待测物于该第一涡电流感测头及 该第二涡电流感测头之间延伸方向上的位移。 4.如申请专利范围第3项所述之装置,其中该位移感 测器系与该评估电路相连通,且其中该评估电路调 整该第一涡电流感测头及第二涡电流感测头之量 测数据,以补偿该位移感测器所侦测到该待测物之 位移所造成之误差。 5.如申请专利范围第3项所述之装置,其中该位移感 测器系包含一雷射距离感测器。 6.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该评估电 路系为一电脑控制器。 7.如申请专利范围第6项所述之装置,其中该电脑控 制器系包含一类比/数位转换器、一可程式逻辑控 制器及一个人电脑。 8.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该位置感 测机构系包含一由复数个位置感测器构成之阵列, 并于该待测物移动穿过该缝隙时,连续地侦测该待 测物之一边缘。 9.如申请专利范围第8项所述之装置,其中该评估电 路由该复数个位置感测器之输出,确定该待测物移 动之速度。 10.如申请专利范围第8项所述之装置,其中每一个 位置感测器系包含一光学感测器。 11.一种量测一待测物之厚度的方法,其系包含下列 步骤: (a)移动该待测物穿过位于两个涡电流感测头之间 的缝隙; (b)当该待测物移动穿过该缝隙时,藉由该两个涡电 流感测头,对该待测物上之一个或复数个取样处, 动态地进行量测; (c)确定该待测物上之一个或复数个取样处的位置; 以及 (d)计算该待测物在该一个或复数个取样处之厚度 。 12.如申请专利范围第11项所述之方法,其中移动该 待测物之步骤系利用一机械式机械式末端效应器 加以执行。 13.如申请专利范围第11项所述之方法,更包含侦测 该待测物于该第一涡电流感测头和第二涡电流感 测头之间延伸方向上的位移。 14.如申请专利范围第13项所述之方法,更包含调整 量测所得之数据,以补偿该待测物之位移所造成之 误差。 15.如申请专利范围第11项所述之方法,其中确定该 待测物上之复数个取样处之位置系包含当该待测 物移动穿过该两个涡电流感测头时,连续地侦测该 待测物之一边缘。 16.如申请专利范围第15项所述之方法,其中更包含 确定该待测物移动之速度。 17.一种量测一待测物之厚度的方法,其系包含下列 步骤: (a)当该待测物相对于一特定位置而移动时,在该待 测物之相向侧上产生一磁通量,并且量测在该待测 物上复数个取样处所感应出之涡电流; (b)确定该复数个取样处之位置;以及 (c)计算该待测物在该复数个取样处之厚度。 18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该磁通 量系由两个位于该待测物相反侧之涡电流感测头 产生,且其中该特定位置系位于该两个涡电流感测 头之间。 19.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该磁通 量系由两个位于该待测物相反侧之涡电流感测头 产生,且该方法更包含侦测该待测物于该两个涡电 流感测头之间延伸方向上的位移。 20.如申请专利范围第19项所述之方法,更包含调整 计算出之厚度,以补偿该待测物之位移所造成的误 差。 21.一种量测一待测物之厚度的方法,其系包含下列 步骤: (a)利用一机械式末端效应器移动该待测物通过一 涡电流感测器; (b)当该待测物移动穿过该涡电流感测器时,藉由该 涡电流感测器,对该待测物上之一个或复数个取样 处,动态地进行量测; (c)确定该待测物上之一个或复数个取样处的位置; 以及 (d)计算该待测物在该一个或复数个取样处之厚度 。 22.如申请专利范围第21项所述之方法,其中确定该 待测物上之复数个取样处之位置系包含当该待测 物移动穿过该涡电流感测器时,连续地侦测该待测 物之一边缘。 图式简单说明: 图1系为一种代表性涡电流感测头之示意图; 图2系为根据本发明之实施例之一种量测物体厚度 装置的方块图; 图3系为图2之装置中某些特定组件的立体图; 图4系为习知技艺之一种单涡电流感测器之磁通量 线分布的示意图; 图5系为图2之双涡电流感测头量测装置之磁通量 线分布的示意图; 图6系说明一种根据本发明之实施例的装置,其对 于待测物与两涡电流感测头之间距离的变更较习 知单涡电流感测器不敏感。 图7系为根据发明之实施例的代表性距离补偿因子 随着待测物位移距离变化之示意图;以及 图8系为说明根据本发明之实施例之一种量测物体 厚度方法之过程的流程图。 |
