发明名称 |
有机EL涂敷装置及方法 |
摘要 |
本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液,从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上,安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米,可以收集异物和凝胶化的溶解物等,阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。 |
申请公布号 |
CN101058481A |
申请公布日期 |
2007.10.24 |
申请号 |
CN200710001928.1 |
申请日期 |
2003.07.07 |
申请人 |
大日本网目版制造株式会社 |
发明人 |
增市干雄;高村幸宏;森脇三造 |
分类号 |
C03C17/00(2006.01);C03C17/28(2006.01) |
主分类号 |
C03C17/00(2006.01) |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
1.一种有机EL涂敷装置,具有喷嘴,该喷嘴可从设在其前端的小孔向基板吐出含有有机EL材料的涂敷液,其特征为,在所述喷嘴内部、在与所述小孔连通且可使所述涂敷液在所述小孔中流通的流路上设有过滤器。 |
地址 |
日本京都府 |