树脂成型品的制造方法、金属结构体的制造方法及树脂成型品

摘要

本发明提供精密且廉价的树脂成型品的制造方法。本发明的树脂成型品的制造方法，包括在基片上形成第1抗蚀剂层、基片与掩膜(A)的位置对准、使用掩膜(A)的第1抗蚀剂层曝光、第1抗蚀剂层热处理、在第1抗蚀剂层上形成第2抗蚀剂层、基片与掩膜(B)的位置对准、使用掩膜(B)的第2抗蚀剂层曝光、第2抗蚀剂层热处理、进行抗蚀剂层的显影形成所期望的抗蚀剂图形的抗蚀剂图形形成工序。此外，通过按照抗蚀剂图形，采用(电)镀在基片上堆积金属结构体的金属结构体形成工序、和以金属结构体作为模。形成树脂成型品的成型品形成工序、制造树脂成型品。

主权项

1.树脂成型品的制造方法，在具有在基片上形成抗蚀剂图形的工序，和按照前述基片上所形成的前述抗蚀剂图形附着金属、形成金属结构体的工序，及使用前述金属结构体形成树脂成型品的工序的树脂成型品的制造方法中，其特征是，前述形成抗蚀剂图形的工序具有形成多层的抗蚀剂层、对前述基片上形成的前述多层的抗蚀剂层进行显影处理的工序，在前述显影处理工序中，控制溶解性使上层的抗蚀剂层对显影剂的溶解性比其他任何一层的抗蚀剂层小，前述溶解性的控制，包括在前述进行显影处理工序之前给予的、采用调节对前述上层的抗蚀剂层之外的一层抗蚀剂层的热处理量和对前述上层的抗蚀剂层的热处理量的控制。