| 发明名称 | 基板支撑·运送用托盘 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板支撑·运送用托盘，该基板支撑·运送用的托盘被载置在配备于对基板进行加热处理的处理室的基板支撑部，特别是被载置在内置着基板加热用的加热构件的基板支撑部上，在上侧放置着基板，在对基板进行加热处理时，能够更均匀地加热基板，同时，在加热处理结束后，不必等到基板的温度降低，即可简单地从上述基板支撑部卸下，从进行加热处理的处理室运往他处。本发明的基板支撑·运送用托盘中，在上面侧具有圆盘状的基板支撑部，具有从该圆盘状的基板支撑部的周缘向下侧延伸的筒状侧壁部，和从该筒状侧壁部的下端侧在径向向外侧延伸的环状部。 | ||
| 申请公布号 | CN101061578A | 申请公布日期 | 2007.10.24 |
| 申请号 | CN200580039349.5 | 申请日期 | 2005.10.18 |
| 申请人 | 佳能安内华股份有限公司 | 发明人 | 柴垣真果;榑松保美 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/673(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 1.一种基板支撑·运送用托盘，该基板支撑·运送用的托盘被载置在配备于对基板进行加热处理的处理室的基板支撑部件上，在上侧放置着基板，其特征在于，在上部侧具有圆盘状的基板支撑部，具有从该圆盘状的基板支撑部的周缘向下侧延伸的筒状侧壁部，和从该筒状侧壁部的下端侧在径向向外侧延伸的环状部。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||