发明名称
摘要
申请公布号 JP3985727(B2) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 JP20030132695 申请日期 2003.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/12 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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