在制程转换期间避免出现电浆不稳定状态的方法

摘要

在一些实施例中提供一种在自一制程步骤至另一制程步骤的一制程转换期间，用以在一电浆处理室稳定蚀刻率分布的方法。该方法包含执行至少一其他制程参数之一转换前补偿，以在该制程转换期间，藉由抑制一寄生电浆，避免不稳定的电浆状态。在一些实施例中，提供一种用于处理在一电浆处理室之一工作部件之方法，该方法包含：在自一制程步骤至另一制程步骤的一制程转换期间，藉由避免不稳定电浆状态，来防止偏离一预期蚀刻率分布。