发明名称 |
单片射频电路及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种单片射频(RF)电路以及一种制造该单片RF电路的方法。单片RF电路包括基础基底、滤波部分和开关部分。所述滤波部分包括:第一支撑层和第二支撑层,形成在所述基础基底上;第一气隙,形成在所述第一支撑层和第二支撑层之间;第一电极,形成在所述第二支撑层和所述第一气隙上;第一压电层,形成在所述第一支撑层和第一电极上;第二电极,形成在所述第一压电层上。所述开关部分包括:第三支撑层,与所述第二支撑层相邻;第二气隙,形成在所述第二支撑层和第三支撑层之间;第一开关电极,形成在所述第二气隙和第三支撑层上;第二压电层,形成在所述第一开关电极上。 |
申请公布号 |
CN101017839A |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
申请号 |
CN200610165656.4 |
申请日期 |
2006.12.11 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
宋寅相;权相旭;金哲秀;朴允权 |
分类号 |
H01L27/20(2006.01);H01L21/82(2006.01);H03H9/02(2006.01);H03H9/70(2006.01);H03H9/54(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/20(2006.01) |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人 |
韩明星;李友佳 |
主权项 |
1、一种单片射频电路,包括:基础基底;滤波部分,包括:第一支撑层和第二支撑层,形成在所述基础基底上;第一气隙,形成在所述第一支撑层和第二支撑层之间;第一电极,形成在所述第二支撑层和所述第一气隙上;第一压电层,形成在所述第一支撑层和第一电极上;第二电极,形成在所述第一压电层上;开关部分,包括:第三支撑层,形成在所述基础基底上,与所述第二支撑层相邻;第二气隙,形成在所述第二支撑层和第三支撑层之间;第一开关电极,形成在所述第二气隙和第三支撑层上;第二压电层,形成在所述第一开关电极上,其中,所述开关部分将从外部源输入的射频信号切换。 |
地址 |
韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416 |