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发明名称
配置有等离子体约束装置的等离子体处理装置
摘要
本发明系一种配置有等离子体约束装置的等离子体处理装置,所述等离子体约束装置包括彼此相互间隔设置并形成狭长通道的多个绝缘元件,至少部分绝缘元件内部嵌置有至少一个导电元件,所述导电元件相互电连接并接地形成电场遮罩。该发明有效地解决了因等离子体扩散而引起的等离子处理装置腔体污染和在处理区外的二次等离子体放电问题。
申请公布号
TW200729272
申请公布日期
2007.08.01
申请号
TW095103249
申请日期
2006.01.27
申请人
中微半导体设备(亚洲)有限公司
发明人
倪图强
分类号
H01J37/32(2006.01);H05H1/00(2006.01)
主分类号
H01J37/32(2006.01)
代理机构
代理人
黄志扬
主权项
地址
开曼群岛
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