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经营范围
发明名称
RECOVERY OF HYDROPHOBICITY OF LOW-K AND ULTRA LOW-K ORGANOSILICATE FILMS USED AS INTER METAL DIELECTRICS
摘要
申请公布号
EP1812961(A1)
申请公布日期
2007.08.01
申请号
EP20040796562
申请日期
2004.10.27
申请人
US
发明人
GB;US;US;US;US;US
分类号
H01L21/31;H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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