发明名称 RECOVERY OF HYDROPHOBICITY OF LOW-K AND ULTRA LOW-K ORGANOSILICATE FILMS USED AS INTER METAL DIELECTRICS
摘要
申请公布号 EP1812961(A1) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 EP20040796562 申请日期 2004.10.27
申请人 US 发明人 GB;US;US;US;US;US
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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