发明名称 CONTROL DEVICE OF AN OPTOELECTRONIC DEVICE HAVING IMPROVED TESTING PROPERTIES
摘要
申请公布号 EP1521973(B1) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP20030760655 申请日期 2003.06.18
申请人 AKT ELECTRON BEAM TECHNOLOGY GMBH 发明人 BRUNNER, MATTHIAS
分类号 G01R31/28;G01R31/316;G02F1/13;G09F9/00;G09G3/00;G09G3/20;G09G3/36 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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