发明名称 |
CONTROL DEVICE OF AN OPTOELECTRONIC DEVICE HAVING IMPROVED TESTING PROPERTIES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1521973(B1) |
申请公布日期 |
2007.07.25 |
申请号 |
EP20030760655 |
申请日期 |
2003.06.18 |
申请人 |
AKT ELECTRON BEAM TECHNOLOGY GMBH |
发明人 |
BRUNNER, MATTHIAS |
分类号 |
G01R31/28;G01R31/316;G02F1/13;G09F9/00;G09G3/00;G09G3/20;G09G3/36 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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