发明名称 ETCHANT AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100742069(B1) 申请公布日期 2007.07.23
申请号 KR20057004243 申请日期 2005.03.11
申请人 发明人
分类号 C09K13/04;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 C09K13/04
代理机构 代理人
主权项
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