| 摘要 |
本发明之实施例提供用于在一帮浦中之紧密、防泄漏过滤器及流体连接件之新颖接头组件及接头组件总成，该帮浦适用于在一半导体制造过程中将流体施配于晶圆上。一接头组件总成之一实施例包含一免O形环、较小尺寸之接头组件及一较小尺寸之公螺纹锁定螺帽。该帮浦之一歧管加工有一母螺纹孔以用于收纳该接头组件及该锁定螺帽。该接头组件具有高于该歧管之可压缩性。最初，随着该接头组件之一末端触碰收纳孔之底部，在该接头组件之末端与该收纳孔之底部之间存在一较小之间隙。随着该接头组件下压，该接头组件之触碰该收纳孔之末端开始变形并填充该较小之间隙，因此在该接头组件与该歧管之间建立一紧密密封。 |
