发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要 Es werden Verfahren zur Ausbildung von Transistoren und Anordnungen derselben offenbart. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel umfasst eine Halbleiteranordnung, welche ein Werkstück, ein über dem Werkstück angeordnetes Gate-Dielektrikum und eine dünne, über dem Gate-Dielektrikum angeordnete Schicht von leitendem Material aufweist. Eine Schicht von halbleitendem Material ist über der dünnen Schicht von leitendem Material angeordnet. Die Schicht von halbleitendem Material und die dünne Schicht von leitendem Material umfassen eine Gate-Elektrode eines Transistors. Ein Source-Gebiet und ein Drain-Gebiet sind nahe dem Gate-Dielektrikum im Werkstück ausgebildet. Die dünne Schicht von leitendem Material umfasst eine Dicke von ungefähr 5 nm (50 Angström) oder weniger.
申请公布号 DE102006059013(A1) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 DE200610059013 申请日期 2006.12.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LI, HONG-JYH
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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