发明名称 薄膜材料及其制造方法
摘要 本发明披露了薄膜材料和制造该薄膜材料的方法,用该方法能够提高形成于基板上的膜的性质。超导线材1包括基板2、形成于基板上并包括一层或至少两层的中间薄膜层(中间层3)、和形成于中间薄膜层(中间层3)上的单晶薄膜层(超导层4)。在中间薄膜层(中间层3)的至少一层中与单晶薄膜层(超导层4)相对的上表面(被研磨面10)是研磨过的。
申请公布号 CN1997779A 申请公布日期 2007.07.11
申请号 CN200580023975.5 申请日期 2005.06.14
申请人 住友电气工业株式会社;财团法人国际超电导产业技术研究中心 发明人 母仓修司;大松一也
分类号 C30B29/22(2006.01);C23C14/08(2006.01);H01B12/06(2006.01);H01B13/00(2006.01) 主分类号 C30B29/22(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 封新琴;张平元
主权项 1、薄膜材料(1),包括:基板(2);形成于所述基板(2)上并包括一层或至少两层的中间薄膜层(3);和形成于所述中间薄膜层(3)上的单晶薄膜层(4),其中在所述中间薄膜层(3)的至少一层中与所述单晶薄膜层(4)相对的上表面(10)是研磨过的。
地址 日本大阪府