发明名称 |
薄膜材料及其制造方法 |
摘要 |
本发明披露了薄膜材料和制造该薄膜材料的方法,用该方法能够提高形成于基板上的膜的性质。超导线材1包括基板2、形成于基板上并包括一层或至少两层的中间薄膜层(中间层3)、和形成于中间薄膜层(中间层3)上的单晶薄膜层(超导层4)。在中间薄膜层(中间层3)的至少一层中与单晶薄膜层(超导层4)相对的上表面(被研磨面10)是研磨过的。 |
申请公布号 |
CN1997779A |
申请公布日期 |
2007.07.11 |
申请号 |
CN200580023975.5 |
申请日期 |
2005.06.14 |
申请人 |
住友电气工业株式会社;财团法人国际超电导产业技术研究中心 |
发明人 |
母仓修司;大松一也 |
分类号 |
C30B29/22(2006.01);C23C14/08(2006.01);H01B12/06(2006.01);H01B13/00(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/22(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
封新琴;张平元 |
主权项 |
1、薄膜材料(1),包括:基板(2);形成于所述基板(2)上并包括一层或至少两层的中间薄膜层(3);和形成于所述中间薄膜层(3)上的单晶薄膜层(4),其中在所述中间薄膜层(3)的至少一层中与所述单晶薄膜层(4)相对的上表面(10)是研磨过的。 |
地址 |
日本大阪府 |