显示面板的检查方法、检查装置以及制造方法

摘要

一种显示面板的检查方法、检查装置以及使用它们的制造方法，其特征在于：具有高度测定装置，使基板或高度测定装置向与以规定间隔多条地涂布在基板上的液状材料交叉的方向移动，同时离散地进行包括液状材料涂布部在内的基板面的高度测定，将从根据所得到的离散高度形状信号求取近似曲线而得到的高度形状信号中抽出每个液状材料的高度并进行连接而成的高度信号，作为检查信号，根据检查信号测定每个液状材料的涂布量。通过在荧光体糊涂布工序之后随即检查涂布工序的状态，可以迅速发现成为涂布工序发生连续缺陷的原因的不良状况，可以将成为不合格品损耗的基板数目抑制到最小限度，快速恢复工序。

主权项

1.一种显示面板检查方法，其特征在于，具有高度测定装置，一边使基板、或者高度测定装置向与在基板上以规定的间隔多条地涂布的液状材料交叉的方向移动，一边离散地进行包括液状材料涂布部的基板面的高度测定，将从根据所得到的离散高度形状信号求取近似曲线而得到的高度形状信号中抽出每个液状材料的高度并进行连接而成的高度信号，作为检查信号，由检查信号测定每个液状材料的涂布量。