气体供给装置及基板处理装置

摘要

本发明是对于用于CVD装置等，组装镍构件所构成之气体喷淋头(气体供给装置)，防止高温造成镍彼此间的贴合。由形成有多数个气体供给孔的镍构件所组成之喷淋板、与在与该喷淋板之间形成有处理气体的流通空间并且由气密地安装在处理容器的顶棚部之开口部的周缘部之镍构件所组成之基体构件，当相互间要在周缘部用螺丝来进行接合时，使与镍构件不同的材质，例如赫史特合金(Hastelloy)或碳等的中间构件，夹在相互间的接合面之间。