发明名称 半导体制造装置用晶片搬送机
摘要
申请公布号 CN3662712D 申请公布日期 2007.06.27
申请号 CN200630130367.1 申请日期 2006.06.23
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 冈宽树;田代慎;小林洋志;成嶋大;石泽繁;近藤圭祐
分类号 12-05 主分类号 12-05
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙 淳
主权项
地址 日本东京