发明名称 |
磁隧道结元件结构和用于制造该结构的方法 |
摘要 |
提供了磁隧道结(MTJ)元件结构和用于制造MTJ元件结构的方法。MTJ元件结构(10)可以包括晶体钉扎层(26)、非晶体固定层(30)以及置于晶体钉扎层和非晶体固定层之间的耦合层(28)。非晶体固定层(30)与晶体钉扎层(26)反铁磁耦合。MTJ元件进一步包括自由层(34)以及置于非晶体固定层和自由层之间的隧道势垒层(32)。另一MTJ元件结构(60)可以包括钉扎层(26)、固定层(30)以及置于其之间的非磁耦合层(28)。隧道势垒层(32)被置于固定层(30)和自由层(34)之间。界面层(62)被安置为与隧道势垒层(32)和非晶体材料层(30)相邻。第一界面层(62)包括具有高于非晶体材料(30)的自旋极化的材料。 |
申请公布号 |
CN1985377A |
申请公布日期 |
2007.06.20 |
申请号 |
CN200580023937.X |
申请日期 |
2005.06.16 |
申请人 |
飞思卡尔半导体公司 |
发明人 |
孙继军;雷努·W·戴夫;乔恩·M·斯劳特;约翰·阿克曼 |
分类号 |
H01L29/76(2006.01);H01L31/113(2006.01);H01L29/94(2006.01);H01L31/119(2006.01);H01L31/062(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/76(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
穆德骏;黄启行 |
主权项 |
1.一种磁隧道结元件,包括:合成反铁磁钉扎结构,包括:晶体钉扎铁磁层;非晶体固定铁磁层;和非磁耦合层,其置于晶体钉扎铁磁层和非晶体固定铁磁层之间,其中非晶体固定铁磁层与晶体钉扎铁磁层反铁磁耦合;第一电极叠层,其包括自由铁磁层;和隧道势垒层,其置于合成反铁磁钉扎结构和第一电极叠层之间。 |
地址 |
美国得克萨斯 |