发明名称 磁隧道结元件结构和用于制造该结构的方法
摘要 提供了磁隧道结(MTJ)元件结构和用于制造MTJ元件结构的方法。MTJ元件结构(10)可以包括晶体钉扎层(26)、非晶体固定层(30)以及置于晶体钉扎层和非晶体固定层之间的耦合层(28)。非晶体固定层(30)与晶体钉扎层(26)反铁磁耦合。MTJ元件进一步包括自由层(34)以及置于非晶体固定层和自由层之间的隧道势垒层(32)。另一MTJ元件结构(60)可以包括钉扎层(26)、固定层(30)以及置于其之间的非磁耦合层(28)。隧道势垒层(32)被置于固定层(30)和自由层(34)之间。界面层(62)被安置为与隧道势垒层(32)和非晶体材料层(30)相邻。第一界面层(62)包括具有高于非晶体材料(30)的自旋极化的材料。
申请公布号 CN1985377A 申请公布日期 2007.06.20
申请号 CN200580023937.X 申请日期 2005.06.16
申请人 飞思卡尔半导体公司 发明人 孙继军;雷努·W·戴夫;乔恩·M·斯劳特;约翰·阿克曼
分类号 H01L29/76(2006.01);H01L31/113(2006.01);H01L29/94(2006.01);H01L31/119(2006.01);H01L31/062(2006.01) 主分类号 H01L29/76(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 穆德骏;黄启行
主权项 1.一种磁隧道结元件,包括:合成反铁磁钉扎结构,包括:晶体钉扎铁磁层;非晶体固定铁磁层;和非磁耦合层,其置于晶体钉扎铁磁层和非晶体固定铁磁层之间,其中非晶体固定铁磁层与晶体钉扎铁磁层反铁磁耦合;第一电极叠层,其包括自由铁磁层;和隧道势垒层,其置于合成反铁磁钉扎结构和第一电极叠层之间。
地址 美国得克萨斯