曝光方法及曝光装置

摘要

高精度定位基板和第1光罩和第2光罩。以CCD摄影机同时读取位于可挠性基板10和第1光罩11和第2光罩12之对应位置的3个定位标记22、25、26，根据来自该读取之画像之标记位置资讯，调整可挠性基板10和第1光罩11之间，及可挠性基板10和第2光罩之间的各相对性位置而执行定位。