发明名称 辐射线感应树脂组成物
摘要 一种辐射线感应树脂组成物,包含硷溶性硬化树脂(A)、叠氮苯化合物(B)、含阳离子与选自由式(1)得到的阴离子及由式(2)得到的阴离子所组成的群组之阴离子的阳离子型聚合起始剂(C)及溶剂(H),(其中R1至R3、R11及R33@各自表示具有1至20个碳原子的线性全氟烷基、具有3至20个碳原子的分枝全氟烷基、具有3至20个碳原子的环状全氟烷基或具有6至20个碳原子的全氟芳基,-O-、-N(R)-或-SO2-的基团之中任一者可插入于以上各基团的碳原子之间(R表示氢原子或具有1至4个碳原子的烷基),R11及R33或R1至R3之中任二者可键结而形成环结构且一或二个环结构可形成杂环)。
申请公布号 TW200720844 申请公布日期 2007.06.01
申请号 TW095143325 申请日期 2006.11.23
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 中野由子
分类号 G03F7/004(2006.01);G03F7/023(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本