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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01319969(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 JP19880153238 申请日期 1988.06.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KANDA AKIHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/763 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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