| 发明名称 | 电容器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有可以较短的烧固时间形成且质量较高的电介体层的电容器及其制造方法。通过气体供给源(112)等将处理装置(100)内的气氛调节为例如氧气氛等。使热处理装置(101)内的气氛为氧气氛，并使温度上升至预定程度。然后，以不会在晶片(W)中产生不良的速度将形成有电介体前体层的晶舟(161)装入热处理装置内。装入后，使热处理装置的反应管内部上升至烧固温度并烧固预定的时间。在热处理装置内冷却至预定程度后，在处理装置内冷却至室温左右，然后将其搬出到处理装置外部。在烧固形成于晶片上的电介体前体层之前，在高于电介体前体层的溶剂的挥发温度、并低于电介体前体的结晶化开始温度的温度下保持预定的时间，从而使残留溶剂蒸发。 | ||
| 申请公布号 | CN1971784A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200610109924.0 | 申请日期 | 2006.08.24 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社;奥克泰克有限公司;揖斐电株式会社 | 发明人 | 山西良树;原田宗生;北野高弘;川口达三;广田良浩;松田健志;山田欣司;篠田智隆;王道海;奥村胜弥 |
| 分类号 | H01G4/33(2006.01);H01G4/12(2006.01);H01G13/00(2006.01);H01B3/12(2006.01);C04B35/46(2006.01);C04B35/622(2006.01);C01G23/00(2006.01) | 主分类号 | H01G4/33(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王怡 |
| 主权项 | 1.一种电容器的制造方法，在该方法中，在形成于衬底上的第一电极上成膜并烧固电介体层，并在该电介体层上形成第二电极，该电容器的制造方法的特征在于，包括以下步骤：调节炉内气氛的炉内气氛调节步骤；调节炉外气氛的炉外气氛调节步骤；在搬入衬底之前使所述炉内的温度上升的升温步骤；将形成了电介体前体层的所述衬底搬入炉内的搬入步骤；对形成于所述衬底上的所述电介体前体层进行烧固，从而得到电介体层的烧固步骤；将具有经烧固的所述电介体层的所述衬底搬出炉外的搬出步骤；以及在所述炉外的气氛中进一步冷却通过所述搬出步骤搬出的所述衬底的冷却步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||