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发明名称 DRYING DEVICE, DRYING METHOD, SUBSTRATE TREATING DEVICE, SUBSTRATE TREATING METHOD AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM
摘要
申请公布号 KR20070053112(A) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 KR20060111687 申请日期 2006.11.13
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TANAKA HIROSHI;NAKAO HIDETOSHI;SHINDO NAOKI;YAMASHITA ATUSHI;TSURUSAKI KOTARO;HIRAYAMA TSUKASA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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