| 发明名称 |
DEVICE FOR INTRODUCING PRECURSORS INTO AN ENCLOSURE, IN A PULSED MODE WITH MEASUREMENT AND CONTROL OF THE FLOW RATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1786950(A2) |
申请公布日期 |
2007.05.23 |
| 申请号 |
EP20050796061 |
申请日期 |
2005.08.05 |
| 申请人 |
QUALIFLOW-THERM |
发明人 |
POIGNANT, FREDERIC;BONNAFOUS, SAMUEL;DECAMS, JEAN-MANUEL;GUILLON, HERVE |
| 分类号 |
C23C16/52;B01D1/18;B01J4/00;B05D7/24;C23C16/44;C23C16/448;G01F1/76;G05D16/00 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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