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发明名称 LOADLOCK CHAMBER HAVING WAFER FLATZONE DETECTING FUNCTION
摘要
申请公布号 KR20070052165(A) 申请公布日期 2007.05.21
申请号 KR20050109888 申请日期 2005.11.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, SUNG SOK
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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