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经营范围
发明名称
WAFER TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20070051547(A)
申请公布日期
2007.05.18
申请号
KR20050109254
申请日期
2005.11.15
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, HWAN KYU
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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