周边曝光装置及其方法(二)

摘要

【课题】提供一种周边曝光装置及方法，可对应识别标记形成于周边区域等的位置，将污染基板表面的原因降至最小。【解决手段】周边曝光装置包括一紫外光照射单元(9)以及一照射区域调整遮板机构(10)。紫外光照射单元(9)在移动路径上，从照射口经由照射用透镜将包含紫外光的光照射至基板的周边区域，照射区域调整遮板机构(10)系根据基板的移动速度，控制成覆盖上述照射口(9m)至少一部分而遮蔽识别标记控制。