| 摘要 |
在此说明一种抑制氧气及水气衰变装置之方法以及该方法形成之装置。为了抑制装置氧气及水气之衰变，使用低液相线温度(或特别实施例中低玻璃转变温度)材料以形成障壁层于装置上。低液相线温度材料例如为锡氟磷酸盐玻璃，硫属玻璃，碲酸盐玻璃，硼酸盐玻璃及磷酸盐玻璃。低液相线温度材料能够藉由例如喷涂，蒸发，雷射剥离，喷洒，倾注，玻璃料沉积，汽相沉积，浸渍涂覆，刷涂或滚涂，旋转涂覆或其组合方式沉积于装置上。在低液相线温度材料中由沉积步骤产生缺陷能够藉由固结步骤(热处理)加以去除以产生无孔隙气体及水气无法渗透之保护性涂膜于装置上。虽然许多沉积方法可能使用于一般玻璃(即高熔融温度玻璃，例如硼矽酸盐，矽石等)，固结步骤为唯一适用于低液相线温度材料，其中固结温度相当低而并不会损及装置中之内层。 |
