基板沉积方法和有机材料沉积装置

摘要

本发明涉及用于沉积有机材料的装置和方法，更具体地，涉及这样一种用于沉积有机材料的装置和方法：其设计成在沉积有机材料的过程中阻止传输到装置的腔内的大尺寸基板的下垂。该装置包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间，入口设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出，且门用于打开或关闭所述入口；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。

主权项

1.一种用于沉积有机材料的装置，包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间、设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出的入口、以及用于打开或关闭所述入口的门；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。