| 主权项 |
1.一种在晶圆上形成薄膜之装置,包括: 一旋转基座,其上系挟持一晶圆; 一具有狭长孔之外壳,用以接收在该基座上的一晶 圆边缘; 至少一电浆源,设置于该外壳上,以产生反应性气 体流; 一第一通道,位于该外壳内且与该电浆源相通,使 反应性气体直接流向位于该外壳狭长孔中的该晶 圆; 一排气空间,位于该外壳内,以容纳该反应性气体; 一排气线,其系连接并由该排气空间延伸出去,以 便将该排气空间之反应性气体排出; 至少一第二通道,位于该外壳内且放射状地在该第 一通道中,以引导稀释/冷却气体流动至该晶圆;以 及 至少一排气通道,在该外壳内且位于该第二通道与 该第一通道之间,以自此排出该稀释/冷却气体与 反应性气体。 2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该外壳系 为一半圆形,以接收该基座上之该晶圆的主要部份 ,使之位于该狭长孔内。 3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该排气通 道系设置于该电浆源与该第一通道之间。 4.一种在晶圆上形成薄膜之装置,包括: 一旋转基座,其上系挟持一晶圆; 一具有狭长孔之外壳,用以接收在该基座上的一晶 圆边缘; 复数电浆源,设置于该外壳上,以选择性产生并引 导反应性气体流向及放射状地流出位于该外壳长 狭孔内之该晶圆边缘; 复数通道,位于该外壳内,以引导稀释/冷却气体以 朝向反应性气体之方向流至该晶圆上;以及 复数排气通道,在该外壳内且位于该通道与该电浆 源之间,以自此排出该稀释/冷却气体与反应性气 体。 5.如申请专利范围第4项所述之装置,其中该外壳系 为一半圆形,以接收该基座上之该晶圆的主要部份 ,使之位于该狭长孔内。 6.如申请专利范围第4项所述之装置,其中该复数电 浆源系包括三个电浆源分别位于该外壳之周围,以 便在该外壳内选择性地蚀刻晶圆上的聚合物、蚀 刻晶圆上的二氧化矽及沈积一封合之二氧化矽层 于晶圆上。 7.如申请专利范围第4项所述之装置,更包括一排气 空间,其系位于该外壳内,用以容纳该反应性气体, 以及一排气线,其系连接并由该排气空间延伸出去 ,以便将该排气空间之反应性气体排出。 8.一种在晶圆上形成薄膜之方法,包括下列步骤: 将一具有薄膜之晶圆设置于一旋转基座上; 引导一稀释/冷却气体放射状地流向该晶圆; 排出从该晶圆流出之该稀释/冷却气体中向下流的 稀释/冷却气体; 引导一反应性气体流向该晶圆,并放射状地流出该 稀释/冷却气体,使反应性气体与该晶圆产生反应; 以及 旋转该晶圆,以利用反应性气体之流动移除该晶圆 边缘之薄膜碎片。 9.如申请专利范围第8项所述之方法,更包括旋转该 晶圆及在直线方向上移动该晶圆,并利用该反应性 气体之流动移除该晶圆薄膜上的材质,以便将该薄 膜形成一预定之形状。 10.如请专利范围第9项所述之方法,更包括引导该 反应性气体第二次流向该晶圆,并放射状地流出该 稀释/冷却气体,使该反应性气体与该晶圆产生反 应而于其上沈积一材质,并旋转该晶圆,以利用该 反应性气体的第二次流动而在该晶圆已成形之薄 膜上沈积一保护薄膜。 11.如申请专利范围第10项所述之方法,其中该保护 薄膜之厚度系介于0.1至0.3微米之间。 12.如申请专利范围第10项所述之方法,更包括收集 位于该晶圆边缘之空间内的反应性气体,并从该空 间内排出该反应性气体。 13.一种在晶圆上形成薄膜之方法,包括下列步骤: 将一具有薄膜之晶圆设置于一旋转基座上; 引导一稀释/冷却气体放射状地流向该晶圆; 排出从该晶圆流出之该稀释/冷却气体中向下流的 稀释/冷却气体; 引导一反应性气体流向该晶圆,并放射状地流出该 稀释/冷却气体,使该反应性气体与该晶圆产生反 应;以及 旋转该晶圆,以利用反应性气体沈积一材质之保护 薄膜于该晶圆边缘上。 14.如申请专利范围第13项所述之方法,其中该保护 薄膜之厚度系介于0.1至0.3微米之间。 图式简单说明: 第1A图为一晶圆在周围边缘区域具有剥落薄膜碎 片的部份剖视图; 第1B图为习知技术在第1A图之晶圆上覆盖一光阻层 的示意图,以解决剥落薄膜; 第1C图为习知技术将第1B图之晶圆的光阻层曝光后 的示意图; 第1D图为习知技术在第1C图之晶圆上完成光阻层后 的示意图; 第1E图为习知技术在第1D图之晶圆上进行湿或乾式 蚀刻后的示意图; 第1F图为习知技术在第1E图之晶圆上已剥除光阻层 及清洗后的示意图; 第2A图为一晶圆在周围边缘区域具有剥落薄膜碎 片的部份剖视图; 第2B图为本发明在第2A图之晶圆上移除剥落薄膜碎 片及形成原有薄膜轮廓后的示意图; 第2C图为本发明在第2B图之晶圆表面形成封合薄膜 后的示意图; 第3图为本发明蚀刻一晶圆周围边缘区域之装置的 侧视图; 第4图为第3图装置的平面示意图; 第5图为本发明之晶圆周围边缘区域在蚀刻期间的 放大示意图; 第6图为本发明在一晶圆周围边缘区域沈积薄膜之 装置的侧视图;以及 第7图为本发明之晶圆周围边缘区域在薄膜沈积期 间的放大示意图。 |
