发明名称 具有遮光层之基底之形成方法
摘要 一种用来制备一具有一遮光层之基底之方法,涉及在形成于一透明基底上之一透明导电层上形成一光敏感涂覆膜,经由一具有光传送性质之光罩曝光此光敏感涂覆膜,移开并显像涂覆膜以曝光透明导电层并电沉积一深色相涂覆在曝光之透明导电层上以形成遮光层,并加热遮光层。具有遮光层之基底有体积电阻率1×10^2ohn.cm或更高且可作为在一液晶显示装置中采用之一TFT列基底之反电极基底。
申请公布号 TW460727 申请公布日期 2001.10.21
申请号 TW083105325 申请日期 1994.06.11
申请人 大印刷股份有限公司 发明人 佐藤晴义;中村彻;汤浅仁士;大月裕;大美贺广芳;小野典克;进藤忠文
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种具有一遮光层之基底之形成方法,该基底使用当成一相反电极基底以用于黑白显示器之薄膜电晶体阵列基底,该方法包含之步骤为:(i)在形成于一透明基底上之一透明导电层上形成一正光敏感涂覆膜,(ii)经由一只在重合于遮光层之部份具有透光性质之光罩而曝光该正光敏感涂覆膜,(iii)移开并显像曝光之涂覆膜之部份以曝光透明导电层并电沉积一深色相涂覆在至少曝光之透明导电层之一部份上以形成遮光层,及(iv)加热该遮光层,该遮光层之体积电阻率为1102至1106cm。2.一种具有一遮光层之基底之形成方法,该基底使用当成一相反电极基底以用于黑白显示器之薄膜电晶体阵列基底,该方法包含之步骤为:(i)在形成于一透明基底上之一透明导电层上形成一负光敏感涂覆膜,(ii)经由一只在不重合于遮光层之部份具有透光性质之光罩而曝光该负光敏感涂覆膜,(iii)移开并显像未曝光之涂覆膜之部份以曝光透明导电层并电沉积一深色相涂覆在至少曝光之透明导电层上以形成遮光层,及(iv)加热该遮光层,该遮光层之体积电阻率为1102至1106cm。3.一种具有一遮光层之基底之形成方法,该基底用于液晶显示器之滤色器,该方法包含之步骤为:(i)在形成于一透明基底上之一透明导电层上形成一正光敏感涂覆膜,(ii)经由一只在重合于遮光层之部份具有透光性质之光罩而曝光该正光敏感涂覆膜,(iii)移开并显像曝光之涂覆膜之部份以曝光透明导电层并电沉积一深色相涂覆在至少曝光之透明导电层之一部份上以形成遮光层,及(iv)加热该遮光层,该遮光层之体积电阻率为1106至11012cm。4.一种具有一遮光层之基底之形成方法,该基底使用当成一相反电极基底以用于黑白显示器之薄膜电晶体阵列基底,该方法包含之步骤为:(i)在形成于一透明基底上之一透明导电层上形成一负光敏感涂覆膜,(ii)经由一只在不重合于遮光层之部份具有透光性质之光罩而曝光该负光敏感涂覆膜,(iii)移开并显像未曝光之涂覆膜之部份以曝光透明导电层并电沉积一深色相涂覆在至少曝光之透明导电层上以形成遮光层,及(iv)加热该遮光层,该遮光层之体积电阻率为1106至11012cm。图式简单说明:第一图之图面为根据本发明之一黑白液晶显示装置之横截面图。
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