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经营范围
发明名称
Hole manufacturing method using plazma
摘要
申请公布号
KR100572880(B1)
申请公布日期
2006.04.24
申请号
KR20000040527
申请日期
2000.07.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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