| 发明名称 | 用于防止微机电开关中的自启动的机制 | ||
| 摘要 | 根据一个实施例，公开了一种微机电(MEMS)开关。所述MEMS开关包括衬底、安装在所述衬底上的底电极、安装在所述底电极上的顶电极、安装在所述衬底上的启动电极以及耦合到所述启动电极的电阻器。只要所述开关被开启，所述电阻器就防止所述启动电极上的自启动。 | ||
| 申请公布号 | CN1961397A | 申请公布日期 | 2007.05.09 |
| 申请号 | CN200580017352.7 | 申请日期 | 2005.06.23 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | 曾－官·艾伦·周 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01) | 主分类号 | H01H59/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 林锦辉 |
| 主权项 | 1、一种微机电(MEMS)开关，包括：衬底；底电极，其安装在所述衬底上；顶电极，其安装在所述底电极上；启动电极，其安装在所述衬底上；以及电阻器，其耦合到所述启动电极，用于防止所述启动电极上的自启动。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||