发明名称 遮罩、遮罩片、遮罩之制造方法、遮罩片之制造方法及电子机器
摘要 本发明提供可在大型被成膜基板高精度地形成图案之遮罩。本发明之遮罩1系复数之遮罩片20介以支持构件10而被接合者,于复数之遮罩片20形成对应于形成之图案之复数之第1开口部22,于邻接之遮罩片20、20之互相相对向之侧面中至少一方之侧面形成缺口部20f,于接合互相邻接之遮罩片20之接缝部,形成由缺口部20f所构成,且包含有对应于形成之图案之第2开口部22a之间隙部,于互相邻接之遮罩片20之至少一方,形成有覆盖第2开口部22a以外之间隙部22b之遮蔽部26。
申请公布号 TW200718268 申请公布日期 2007.05.01
申请号 TW095126046 申请日期 2006.07.17
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 四谷真一;桑原贵之;小枝周史
分类号 H05B33/10(2006.01) 主分类号 H05B33/10(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本