发明名称 奈米碳管制备装置
摘要 本发明涉及一种奈米碳管制备装置,其包括一石英管、一导流腔体及一气体输送管。该石英管包括一第一进气口及一与该第一进气口相对设置之出气口。该导流腔体设置于该石英管内,其包括一顶部及一第二进气口,该顶部设置有复数开口,该复数开口与第一进气口之开口方向垂直。该气体输送管用于向导流腔体内输送反应气体,其包括一第一端口及一第二端口,该第一端口与第一进气口密封套接,第二端口与第二进气口密封套接。
申请公布号 TW200716782 申请公布日期 2007.05.01
申请号 TW094137885 申请日期 2005.10.28
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 萧博元;张庆州;何纪壮
分类号 C23C16/44(2006.01);C23C16/26(2006.01);C01B31/04(2006.01) 主分类号 C23C16/44(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
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