发明名称 | 奈米碳管制备装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种奈米碳管制备装置,其包括一石英管、一导流腔体及一气体输送管。该石英管包括一第一进气口及一与该第一进气口相对设置之出气口。该导流腔体设置于该石英管内,其包括一顶部及一第二进气口,该顶部设置有复数开口,该复数开口与第一进气口之开口方向垂直。该气体输送管用于向导流腔体内输送反应气体,其包括一第一端口及一第二端口,该第一端口与第一进气口密封套接,第二端口与第二进气口密封套接。 | ||
申请公布号 | TW200716782 | 申请公布日期 | 2007.05.01 |
申请号 | TW094137885 | 申请日期 | 2005.10.28 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 萧博元;张庆州;何纪壮 |
分类号 | C23C16/44(2006.01);C23C16/26(2006.01);C01B31/04(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |