| 主权项 |
1.一种表面声波装置,其特征在于具有: 基板,系具有压电性; 栉型电极,系于前述基板上构成IDT; 反射器电极,系接近由前述IDT发生的表面波之传送 方向而形成; 短路补助电极,系于前述栉型电极与前述反射器电 极之周围因位置不同而不同宽度的框状; 输入出导出电极,系设置于前述短路补助电极的内 周部而连接于前述栉型电极;及 输入出端子电极,系设置于前述短路补助电极的内 周部而连接于前述输入出导出电极。 2.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中前述 短路补助电极之外周部更设置切割线。 3.如申请专利范围第1或2项之表面声波装置,其中 前述短路补助电极略均等地配置。 4.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中前述 输入出导出电极系将输入导出电极与输出导出电 极予以相对向设置,同时将该等电极之面积设成略 相等。 5.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中前述 输入出导出电极系将输入端子电极与输出端子电 极予以相对向设置,同时将该等电极之面积设成略 相等。 6.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中将前 述反射器电极与短路补助电极予以电气性的连接 。 7.如申请专利范围第2项之表面声波装置,其中将前 述反射器电极与短路补助电极予以电气性的连接 。 8.如申请专利范围第6项之表面声波装置,其中以一 条以上的线或带状的第1连接电极将前述反射器电 极与短路补助电极予以电气性的连接。 9.如申请专利范围第2项之表面声波装置,其中以一 条以上的线或带状的第1连接电极将前述反射器电 极与短路补助电极予以电气性的连接。 10.如申请专利范围第9项之表面声波装置,其中前 述第1连接电极之宽幅至少比切割线的宽幅大。 11.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中前 述栉型电极之一部分与短路补助电极电气性的连 接。 12.如申请专利范围第2项之表面声波装置,其中前 述栉型电极之一部分与短路补助电极电气性的连 接。 13.如申请专利范围第11项之表面声波装置,其中前 述栉型电极于一定的位置至少设置三对以上,前述 多数栉型电极之中之两侧的前述栉型电极相互连 接,同时亦与短路补助电极电气性的连接。 14.如申请专利范围第12项之表面声波装置,其中前 述栉型电极于一定的位置至少设置三对以上,前述 多数栉型电极之中之两侧的前述栉型电极相互连 接,同时亦与短路补助电极电气性的连接。 15.如申请专利范围第11项之表面声波装置,其中以 一条以上的线或带状的第2连接电极将前述栉型电 极与短路补助电极予以电气性的连接。 16.如申请专利范围第12项之表面声波装置,其中以 一条以上的线或带状的第2连接电极将前述栉型电 极与短路补助电极予以电气性的连接。 17.如申请专利范围第2或7项之表面声波装置,其中 将前述切割线与短路补助电极予以电气性的连接 。 18.如申请专利范围第17项之表面声波装置,其中以 一条以上的线或带状的第3连接电极将前述切割线 与短路补助电极予以电气性的连接。 19.如申请专利范围第18项之表面声波装置,其中前 述第3连接电极之宽幅至少比切割线的宽幅大。 20.如申请专利范围第1或2项之表面声波装置,其中 将前述反射器电极与短路补助电极设成电气性的 开放状态。 21.如申请专利范围第1或2项之表面声波装置,其中 前述反射器电极具有折测线构造,前述反射器电极 之两端部分别与栉型电极电气性的连接而构成。 22.如申请专利范围第1或2项之表面声波装置,其中 将前述短路补助电极设成接地电极。 23.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中从 前述输入出端子电极、输入出导出电极、短路补 助电极选择之任何一个电极至少最上层之电极膜 系以蒸着方式形成。 24.如申请专利范围第23项之表面声波装置,其中前 述最上层之电极膜系柔材质的材料。 25.如申请专利范围第24项之表面声波装置,其中前 述最上层之电极膜系使用铝或铝合金所构成之材 料。 26.如申请专利范围第1项之表面声波装置,其中至 少前述栉型电极、反射器电极、输入出端子电极 、输入出导出电极及短路补助电极具有积层一种 类或多数种类金属的构成。 27.一种表面声波装置之制造方法,其特征在于具有 : 于具有压电性之基板上被着金属薄膜的步骤; 蚀刻前述金属薄膜而将构成叉指换能器(IDT)之栉 型电极、接近以前述叉指换能器所激振之表面波 传送方向而形成的反射器电极、至少围住前述栉 型电极与前述反射器电极而依位置呈不同宽幅之 框状短路补助电极、于框状之前述短路补助电极 的内周部设置连接于栉型电极之输入出导出电极 、及连接于前述输入出导出电极之输入出端子电 极予以多数组形成之图案加工步骤;及 将邻接之前述短路补助电极间予以切断的步骤。 28.如申请专利范围第27项之表面声波装置之制造 方法,其中于前述金属薄膜之图案加工步骤,更包 含于前述短路补助电极之外周部形成切割线的加 工。 29.如申请专利范围第27项之表面声波装置之制造 方法,其中于前述金属薄膜之图案加工步骤,更包 含于短路补助电极与反射器电极或短路补助电极 与栉型电极之间形成以电气性连接之连接电极的 加工。 30.如申请专利范围第28项之表面声波装置之制造 方法,其中于前述金属薄膜之图案加工步骤,更包 含于短路补助电极与反射器电极或短路补助电极 与栉型电极之间形成以电气性连接之连接电极的 加工。 31.如申请专利范围第28项之表面声波装置之制造 方法,其中于前述金属薄膜之图案加工步骤,更包 含形成将短路补助电极与切割线予以电气性连接 之连接电极的加工。 32.如申请专利范围第27项之表面声波装置之制造 方法,其中从前述输入出端子电极、输入出导出电 极及短路补助电极选择之至少一个电极系以蒸着 方式形成最上层之电极膜。 33.如申请专利范围第32项之表面声波装置之制造 方法,其中前述最上层之导体薄膜系柔材质的材料 。 34.如申请专利范围第33项之表面声波装置之制造 方法,其中前述最上层之导体薄膜系使用铝或铝合 金所构成之材料。 35.如申请专利范围第27项之表面声波装置之制造 方法,其中前述金属薄膜系积层一种类或多种类之 金属而形成。 36.一种电子零件,其特征在于具有: 在箱状底部具有导出电极及与前述导出电极导通 的端子电极的底层基板; 覆盖前述底层基板而用以密封底层基板之内部的 盖体; 配置于前述底层基板之箱状底部之表面声波装置; 及 使前述表面声波装置之输出入端子电极与前述底 层基板之前述导出电极呈电气性连接之连接构件, 且前述表面声波装置系申请专利范围第1或2项之 其中任何一项之表面声波装置。 37.如申请专利范围第36项之电子零件,其中前述连 接构件系由铝或金所构成的线。 38.如申请专利范围第36项之电子零件,其中前述连 接构件系形成在表面声波装置上之突起。 图式简单说明: 第1图A、第1图B表示本发明之第1实施样态之表面 声波装置之电极图案之构成平面图、及在具有压 电性之基板上多数形成之构成平面图。 第2图表示使用该表面声波装置之电子零件的断面 图。 第3图表示本发明之第2实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 第4图表示本发明之第3实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 第5图A、第5图B表示本发明之第4实施样态之表面 声波装置之电极图案之构成平面图、及在具有压 电性之基板上多数形成之构成平面图。 第6图表示本发明之第5实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 第7图表示本发明之第6实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 第8图表示本发明之第7实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 第9图表示本发明之第8实施样态之表面声波装置 之电极图案构成平面图。 |
