一种制备光敏凝胶薄膜以实现光栅图形转移的方法

摘要

本发明属溶胶—凝胶法制备ZrO₂光敏凝胶薄膜及光栅图形的转移方法。采用溶胶—凝胶法，以锆酸丁酯为前驱体、无水乙醇或丙酮为有机溶剂，并加入苯甲酰丙酮，与Zr形成光敏鳌合物溶胶。再以石英、单晶硅或K9玻璃等为基底，制得光敏凝胶薄膜。采用掩膜结合紫外曝光、显影及后续热处理可在薄膜表面引入光栅图形。本发明具有工艺流程少，制作成本低廉，可调节性强等优点。也可以很方便地实现大面积光栅图形的转移。另外，溶胶凝胶法制作出的衍射光栅具有较高的激光损伤阈值，可应用于精密的光谱分光元件、光存储技术、平面显示器以及航空航天遥感成像光谱仪等方面。

主权项

1、一种制备光敏凝胶薄膜以实现光栅图形转移的方法，其特征是采用以下步骤：一、以溶胶—凝胶法制备光敏溶胶；二、采用浸渍提拉法制得光敏凝胶薄膜；三、将制得的上述薄膜用掩模压住，进行紫外曝光，清洗后烘烤，除去薄膜中残留的有机物，即可在薄膜上转移光栅图形。