介电材料之分段奈米线的低温催化形成

摘要

本发明揭示了一种形成分段奈米线之方法，该方法包含下列步骤：提供一基材；预先清洗该基材；预先处理该基材；形成并放置一催化剂在该基材之上；以及以电浆增强式化学汽相沈积(PECVD)的重复脉波沈积一介电材料，而在该催化剂之上形成分段奈米线。