批式沉积工具及压缩晶舟

摘要

本发明之态样包含用于批次处理基材的方法与设备。在一实施例中，一压缩晶舟系配置用以降低一批式处理室中的泵气容积(pumping volume)。该压缩晶舟包含一固定式晶舟与一活动式晶舟，其各自可独立地装载或卸载基材。该活动式晶舟与该固定式晶舟可相互交错穿插，得以减缩该些基材之间的距离。在另一实施例中，一具有活动式基材固持件的晶舟系配置用来在不显着增加抽气容积的情况下提供多个基座。该活动式基材固持件可于远离该具有多个基座的晶舟处装载或卸载。该活动式基材固持件衔接至该晶舟，使得固持件上的基材与该等基座互相交错穿插。本发明之多个实施例可减缩抽气容积并提高产能，因而降低该设备使用者每个批次处理制程的成本。