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发明名称 PLASMA UNIFORMITY CONTROL BY GAS DIFFUSER CURVATURE
摘要
申请公布号 KR20070039931(A) 申请公布日期 2007.04.13
申请号 KR20077002450 申请日期 2007.01.31
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 CHOI, SOO YOUNG;PARK, BEOM SOO;WHITE JOHN M.;TINER ROBIN L.
分类号 C23C16/455 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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