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发明名称
Abstandsstück zum Halten eines Wafers und Verfahren und Anordnung zum Ausheizen eines Wafers
摘要
申请公布号
DE10108066(B4)
申请公布日期
2007.04.12
申请号
DE20011008066
申请日期
2001.02.20
申请人
PROMOS TECHNOLOGIES INC.
发明人
FAN, HUNG-YI
分类号
H01L21/324;H01L21/00;H01L21/68
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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