发明名称 Abstandsstück zum Halten eines Wafers und Verfahren und Anordnung zum Ausheizen eines Wafers
摘要
申请公布号 DE10108066(B4) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 DE20011008066 申请日期 2001.02.20
申请人 PROMOS TECHNOLOGIES INC. 发明人 FAN, HUNG-YI
分类号 H01L21/324;H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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