用平板显示器多辞典压缩方法的光刻设备和装置制造方法

摘要

光刻设备包含调制辐射束的独立可控元件阵列、存储了由调制射束将要在衬底上形成的所需剂量的图案的压缩表示的压缩图案存储器和至少部分地对压缩表示进行解压缩的辞典解压缩器。辞典解压缩器包含外部辞典存储器、第一辞典解码器和第二辞典解码器，所述第一辞典解码器通过从外部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对外部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示，并且所述第二辞典解码器具有内部辞典存储器，第二辞典解码器通过从内部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对内部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示。

主权项

1.一种光刻设备，包含：独立可控元件阵列，用于调制辐射束；压缩图案存储器，用于存储由调制的射束在衬底上形成的所要求剂量的图案的压缩表示；以及辞典解压缩器，用于至少部分地解压缩所述压缩表示，其中所述辞典解压缩器包含，第一辞典存储器，以及第一辞典解码器，用于通过从所述第一辞典存储器中提取与包含在所述压缩表示中的对所述第一辞典存储器的引用相应的若干图案数据部分，来至少部分地解压缩至少部分所述压缩表示。