用于退火多种处理物的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于借助电磁辐射同时退火和处理多种处理物的装置。所述的装置是一种堆式炉，其中，如此彼此紧靠地布置处理物和能源，使得在两种能源之间存在着一种处理物，和在两种处理物之间存在着一种能源。所述的装置尤其适合于在有处理气体的情况下将处理物退火。借助所述的装置，一种具有可变处理参数(譬如气压、加热速率、冷却速率)的可变的加热和冷却分布是可能的。尤其能够将具有不同物理特性(热传导系数、热膨胀系数、吸收和辐射能力等等)的大面积多层体形式的处理物可靠地退火。借助所述的装置和方法能够将一种有毒和/或腐蚀性的处理气体采用于处理物的处理。所述的装置或方法譬如适用于制造薄膜太阳能模块。

主权项

1.用于在预定气氛(50)中通过由一个处理物(33，43)借助吸收预定电磁辐射(34，44)摄取一种能量，并通过由至少一个其它处理物(43，33)借助吸收至少其它的预定电磁辐射(44，34)摄取至少一种其它能量来退火多个处理物(33，43)的装置，其中，所述装置具有-至少一种用于产生预定气氛的装置(11)，-第一退火单元(3)，其带有至少一个用于生成第一电磁辐射(34)的第一能源(32)，和-至少一个其它退火单元(4)，其带有至少一个用于生成一其它电磁辐射(44)的其它能源(42)，其中，-所述第一退火单元(3)和所述其它退火单元(4)是如此彼此相对地布置成一个具有一种堆方向(22)的退火堆(2)的，使得-在所述第一能源(32)和所述其它能源(42)之间能够布置第一处理物(33)，而在所述第一处理物(33)和一个其它处理物(43)之间能够布置所述其它能源(42)。