| 主权项 |
1.一种驱动装置,其特征为包含: 一次侧构件,其包含复数个缠绕有线圈且具有磁性 体之电枢;及 二次侧构件,其上配置有复数个永久磁铁,且 上述二次侧构件系介以间隔配置于上述一次侧构 件, 上述复数个电枢之间配置有位置检测装置。 2.一种驱动装置,其特征为包含: 一次侧构件,其具有复数个包含磁性体且缠绕有线 圈的电枢;及 二次侧构件,其具有复数个永久磁铁,且 上述电枢具有第一对向部(其有上部磁极齿部与下 部磁极齿部介以间隙相对而设)及第二对向部(其 有上部磁极齿与下部磁极齿介以间隙相对而设), 在上述第一对向部间的间隙及第二对向部间的间 隙中具有二次侧构件, 上述复数个电枢系以指定间距相隔而设,而有位置 检测装置配置于复数个电枢之间。 3.一种驱动装置,其特征为包含: 复数个电枢,具备:第一铁芯,具有第一对向部,其中 有上部磁极齿与下部磁极齿相对而设,及具有磁性 体;第二铁芯,具有第二对向部,其中有上部磁极齿 、及下部磁极齿相对而设,及具有磁性体;且 在上述第一对向部之间及上述第二对向部之间配 置有二次侧构件, 上述二次侧构件上方,配置于上述第一铁芯之上部 磁极齿与配置于上述第二铁芯之上部磁极齿交互 配置, 上述二次侧构件下方有配置于上述第一铁芯之下 部磁极齿与配置于上述第二铁芯之下部磁极齿交 互配置, 上述第一铁芯与上述第二铁芯以共通线圈缠绕, 上述复数个电枢间配置有位置检测装置。 4.如申请专利范围第1项之驱动装置,其中 上述复数个电枢的间隔在上述电枢的磁极间距为P 、上述驱动装置的相数为M时,大致为kP+P/M(k=0、1 、2、3...)。 5.如申请专利范围第2项之驱动装置,其中 上述复数个电枢的间隔在上述电枢的磁极间距为P 、上述驱动装置的相数为M时,大约为kP+P/M(k=0、1 、2、3...)。 6.如申请专利范围第3项之驱动装置,其中 上述复数个电枢的间隔在上述电枢的磁极间距为P 、上述驱动装置的相数为M时,大约为kP+P/M(k=0、1 、2、3...)。 7.如申请专利范围第1项之驱动装置,其中 上述位置检测装置具有复数个位置检测部, 上述复数个位置检测部的配置间隔在二次侧构件 的磁极间距为P时,大致为P/6或大致为P/3。 8.如申请专利范围第2项之驱动装置,其中 上述位置检测装置具有复数个位置检测元件, 上述复数个位置检测元件的配置间隔在二次侧构 件的磁极间距为P时,大致为P/6或大致为P/3。 9.如申请专利范围第3项之驱动装置,其中 上述位置检测装置具有复数个位置检测元件, 上述复数个位置检测元件的配置间隔在二次侧构 件的磁极间距为P时,大致为P/6或大致为P/3。 10.一种XY台,其特征为以申请专利范围第1项之驱动 装置做为驱动源。 11.一种XY台,其特征为以申请专利范围第2项之驱动 装置做为驱动源。 12.一种XY台,其特征为以申请专利范围第3项之驱动 装置做为驱动源。 图式简单说明: 图1为本发明之实施例之整体图。 图2(a)及(b)为本发明之实施例所用之驱动装置之构 造图。 图3为配置有本发明之磁极位置检测装置之构造图 (之一)。 图4(A)及(B)为配置有本发明之磁极位置检测装置之 构造图(之二)。 图5为比较例之驱动装置中之磁极位置检测装置之 配置构造图。 图6为采用有本发明之驱动装置之XY台之实施例之 整体图。 图7为采用有本发明之驱动装置之XY台之实施例之 整体图(之一)。 图8为采用有本发明之驱动装置之XYZ台之实施例之 整体图(之二)。 图9为采用有本发明之驱动装置之XYZ台之实施例之 整体图(之三)。 图10为采用有本发明之驱动装置之XYZ台之实施例 之整体图(之四)。 图11为采用有本发明之实施例之驱动装置之位置 控制系统之区块线图。 |
