热处理系统之内建自测试(二) BUILT-IN SELF TEST FOR A THERMAL PROCESSING SYSTEM

摘要

一种建立及／或修改即时监测热处理系统用之内建自测试(BIST)表格的方法，该方法包含将复数片晶圆安置于热处理系统之处理室中；执行即时动态模型以产生预测动态处理应答；建立量测动态处理应答；决定动态估计误差；判定该决定动态估计误差是否可与BIST表格中的预先存在之BIST规则相关联；当该动态估计误差无法与BIST表格中的任意预先存在之BIST规则相关联时，便建立新的BIST规则；以及当无法建立新的BIST规则时，则停止该处理。